Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А.
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.
Kategorien:
Jahr:
1995
Verlag:
Изд-во МФТИ, Наука. Физматлит
Sprache:
russian
Seiten:
305
ISBN 10:
5741700063
ISBN 13:
9785741700068
Datei:
DJVU, 6.81 MB
IPFS:
,
russian, 1995
Litres
Möchten Sie Ihren Buchladen hinzufügen? Kontaktieren Sie uns unter support@z-lib.do
Konvertieren Sie Dateien
Mehr Suchergebnisse
Andere Vorteile 
