Оборудование полупроводникового производства
Блинов И.Г., Кожитов Л.В.
Изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для студентов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Технология специальных материалов электронной техники» и «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».
Jahr:
1986
Verlag:
Машиностроение
Sprache:
russian
Seiten:
139
Datei:
PDF, 98.33 MB
IPFS:
,
russian, 1986